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Kalibrier-Laserinterferometer

SP 15000 C5

Laserinterferometer zur hochgenauen simultanen Messung und Kalibrierung von Länge, Nickwinkel, Gierwinkel und Geradheit an Positionierachsen

flexibles Längenmesssystem höchster Genauigkeit

hochgenaue Längenmessungen über große Entfernungen 

synchrone, kontinuierliche und in Verbindung mit einem optionalen Rollwinkel­sensor 6 DoF Messungen von Länge, Nick- und Gierwinkel sowie Geradheit

einfache Handhabung und Justage durch integrierte Strahlrichtungsdetektion

große Kippinvarianz des Messreflektors

Strahlabstände: 50 mm

horizontale und vertikale Geradheitskomponente durch schwenkbare Optik messbar

umfangreiche Triggermöglichkeiten

offene Schnittstellen für OEM-Software unter Windows und Linux

Kalibriersoftware entsprechend den aktuell gültigen Normen

Die hochgenaue, dynamische Erfassung von Führungseigenschaften von Maschinenachsen sowie die anschließende normgerechte Kalibrierung sind ein sehr arbeits- und zeitintensiver Prozess, der im Endeffekt zu einer hohen Positioniergenauigkeit führt.

Das Kalibrier-Laserinterferometer SP 15000 C5 wurde speziell für die Anforderungen der Hersteller von Koordinatenmessgeräten und hochgenauen Präzisionswerkzeugmaschinen entwickelt. Es ermöglicht synchrone, kontinuierliche und in Verbindung mit einem optionalen Rollwinkel­sensor 6 DoF Messungen. Die Messgrößen Länge, Nickwinkel, Gierwinkel und Geradheit in x- und y-Ausrichtung werden hochgenau laserinterferometrisch erfasst, wobei in allen drei Längenmesskanälen die gleiche hochstabile Laserfrequenz verwendet wird.
Die komplette Maschinenabnahme oder volumetrische Kompensation kann mit Hilfe der optionalen Software realisiert werden.

Durch die kompakte Ausführung der Geradheitsoptik ist der Geradheitsspiegel direkt am Sensorkopf angebracht. Somit müssen nur noch zwei Komponenten aufgebaut und zueinander ausgerichtet werden. Selbst bei beengten oder schwer zugänglichen Platzverhältnissen kann das Messsystem schnell installiert und zuverlässig justiert werden.

Die Lichtwellenleiterkopplung des Sensorkopfes und die integrierte Strahlrichtungsdetektion unterstützen die einfache Handhabung und Justage. Das Kalibrierinterferometer benötigt kein zusätzliches Stativ. Es kann direkt auf dem stabilen Maschinenbett platziert werden. So wird die Anzahl der auszurichtenden optische Bauteile minimiert.

Für große Messbereiche oder Kalibrieraufgaben werden vorzugsweise drahtlose Funktemperatursensoren oder unsere LCS Präzisions-Klimamessstation eingesetzt.

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Technische Daten

bis zu 50 m

0,1 µm/m

±5°

0,0004 arcsec

±4 mm über 6,5 m

10 nm

Anwendungsgebiete

hochgenaue Kalibrierung von Achsen an Mess- und Werkzeugmaschinen sowie Koordinatenmessgeräten

Laserinterferometrische Messungen an Führungen

hochpräzise simultane Längen- und Winkelmessung

Anwendungsbeispiel lesen

Ideal für

Kalibrierung

Qualitätssicherung

Volumetrische Kompensation

Entwicklung

Messprinzip des Kalibrier-Interferometers

Zubehör

Reflektoreinheit

mit 3 Reflektoren und Geradheitsmessung

Artikel-Nr. A030521

Reflektoreinheit für SP 15000 C5

für kompakte Geradheitsmessung

mit 4 Reflektoren und optischer Umlenkung in einem Gehäuse

Artikel-Nr. A030521

Umlenkspiegeleinheit 90°

justierbar, Umlenkung in zwei Richtungen möglich

für Strahlabstand: 50 mm

Artikel-Nr. A036127

Reflektorhalter auf Magnetfuß

für SP 15000 C3, SP 15000 C5

Klemmwürfel und Zwischenplatte für Säulensystem

Säule, Ø25,4 mm, Anschlussgewinde M6 (beidseitig)

Adapterwinkel für Magnetfuß, Anschlussgewinde M8

Permanent-Magnetfuß, schaltbar

Artikel-Nr. A035443

Rollwinkel Sensor RAS 175 W

Messbereich bis ±1°

Auflösung 0,2 arcsec

Justiertisch

Hubhöhe 80 mm – max. 150 mm/ x-axial ±12,5 mm

Artikel-Nr. A032051

Umweltkorrektur

Sensorbox SB-22

Temperaturtransducer TT-01 für Luft- oder Materialtemperatursensor

Luftfeuchtefühler

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ob das Kalibrier-Laserinterferometer SP 15000 C5 die passende Lösung für Ihre Messaufgaben ist?

 
Unsere SIOS-Experten besuchen Sie gern vor Ort. So können wir gemeinsam eine schnelle Lösung für Ihre Anwendungen finden und erste Probemessungen in Ihrem Umfeld durchführen.

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Die passende Software

InfasMTCAL

Software zur Kalibrierung und volumetrischen Kompensation

Kalibrierung, Fehleranalyse und Verifikation

Anwendung bei Linearachsen, KMGs und Werkzeugmaschinen

InfasAXIS

Kalibriersoftware nach VDI / ISO Norm

zur Kalibrierung von Linearachsen

Erfassung von Position-, Nick- und Gierwinkel und Geradheit

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Software zur Datenerfassung und Visualisierung

Universalsoftware für alle SIOS Interferometer

Basisfunktionen für die Messdatenerfassung

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Software zur Schwingungsmessung

FFT-Analyse

Datenfilterung

Spectrenmittelung

Scriptsteuerung

Ihr Ansprechpartner

Falko Seyfferth

Anwendungsingenieur

+49 (0) 3677 64 47-49

falko.seyfferth@sios.de

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