Weg-Winkel-Differenzinterferometer
SP 5000 DI/DS
Vierstrahliges laserinterferometrisches Weg-Winkel-Differenzmesssystem
hochstabile differenzielle Längen- und Nickwinkelmessungen
perfekt für XY-Tische
Strahlabstände: 15 mm (Längenmessung) und 6 mm (Winkelmessung)
extrem niedrige Temperaturempfindlichkeit < 20 nm / K
OEM- und Vakuumversionen sind auf Anfrage möglich
Das Interferometer SP 5000 DI/DS vereint die Vorteile des Differenzinterferometers mit denen eines Mehrstrahlinterferometers. Es verbindet erstmals eine hochstabile Längenmessung nach dem Differenzprinzip mit einer hochauflösenden interferometrischen Nickwinkelmessung. So ist es möglich, nicht nur winzigste Bewegungen, sondern auch kleinste Verkippungen über größere Bereiche hinweg zu erfassen, ohne dass die Ergebnisse durch thermische und physikalische Umwelteinflüsse beeinträchtigt werden.
Das Interferometer wurden zur Anwendung an Planspiegeln und als Einbaumesssysteme konzipiert. Eine Anwendung mit Reflektoren ist möglich. Die Justierung der Interferometer erfolgt über ultrastabile optische Komponenten, die in den Strahlengang integriert sind.
Technische Daten
0 m bis ≥ 2 m
5 pm
0,15 ppm
±430 µrad
mit Planspiegel
0,0035
arcsec
Downloads
Anwendungsgebiete
Gleichzeitige Messung von Länge und Winkel zur Kompensation von Abbefehlern in der Messanordnung.
Positionssteuerung von X-Y-Tischen bei Einsatz eines Messsystems mit zwei Sensorköpfen
langzeitstabile Längen- und Winkelmessungen, Messungen höchster Auflösung
Ideal für
Langzeitmessungen
OEM-Anwendungen
höchste Stabilitätsanforderungen
Messprinzip des Weg-Winkel-Differenzinterferometer
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Die passende Software
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InfasNTC
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Universalsoftware für alle SIOS Interferometer
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