Weg-Winkel-Differenzinterferometer

SP 5000 DI/DS

Vierstrahliges laserinterferometrisches Weg-Winkel-Differenzmesssystem

hochstabile differenzielle Längen- und Nickwinkelmessungen

perfekt für XY-Tische

Strahlabstände: 15 mm (Längenmessung) und 6 mm (Winkelmessung)

extrem niedrige Temperaturempfindlichkeit < 20 nm / K

OEM- und Vakuumversionen sind auf Anfrage möglich

Das Interferometer SP 5000 DI/DS vereint die Vorteile des Differenzinterferometers mit denen eines Mehrstrahlinterferometers. Es verbindet erstmals eine hochstabile Längenmessung nach dem Differenzprinzip mit einer hochauflösenden interferometrischen Nickwinkelmessung. So ist es möglich, nicht nur winzigste Bewegungen, sondern auch kleinste Verkippungen über größere Bereiche hinweg zu erfassen, ohne dass die Ergebnisse durch thermische und physikalische Umwelteinflüsse beeinträchtigt werden.

Das Interferometer wurden zur Anwendung an Planspiegeln und als Einbaumesssysteme konzipiert. Eine Anwendung mit Reflektoren ist möglich. Die Justierung der Interferometer erfolgt über ultrastabile optische Komponenten, die in den Strahlengang integriert sind.

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