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Kalibriersysteme

Laserinterferometer für die Kalibrierung

Dreistrahl-Laserinterferometer

SP 5000 TR

simultane Weg- und zwei Winkelmessung

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Kalibrier-Laserinterferometer

SP 15000 C5

bis zu 6 DoF-Kalibrierung von Achsen und Linearführungen

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