Dreistrahl-Laserinterferometer

SP 5000 TR

Beispielhafte Anwendung des Dreistrahl-Laserinterferometers SP 5000 TR an einer Linearführung

simultane und genaue Messung mit dem Dreistrahl-Laserinterferometer an einem X-Y Tisch — Anwendung des Dreistrahl-Laserinterferometers SP 5000 TR an einem X-Y-Tisch zur gleichzeitigen und präzisen Längen-, Nick- und Gierwinkelmessung

Dreistrahliges laserinterferometrisches Messsystem für simultane und genaue Längen-, Nick- und Gierwinkelmessungen

flexibles Längenmesssystem höchster Genauigkeit

einfache Handhabung und Justage durch integrierte Strahlrichtungsdetektion

verschiedene optische Reflektoren einsetzbar, z. B. Kugel-, Planspiegel-Reflektor

zulässige Verkippung des Messreflektors bis zu ± 12,5°

kompaktes Design

Ausführung des Sensorkopfes wahlweise in Aluminium, Edelstahl oder Invar

Strahlabstände: 12 mm

OEM-Versionen, OEM-Software und Vakuum-Version sind möglich

Strahlumlenkung mit einem optional erhältlichen, justierbaren Umlenkspiegel

erweiterte Einsatzbereiche durch optionale Schnittstellen

umfangreiche Triggermöglichkeiten

Kalibriersoftware entsprechend den aktuell gültigen Normen

Viele Anwendungsgebiete in Industrie und Forschung verlangen hochpräzise simultane Weg- und Winkelmessungen. Die gleichzeitige Erfassung der Nick- und Gierwinkel sowie der Längenmessung, während der Bewegung des Schlittens, auf dem die Dreifachreflektoreinheit fixiert ist, macht es möglich, schnell und hochpräzise Bewegungsachse zu bewerten. Dabei ist eine schnelle und unkomplizierte Sensorjustage besonders wichtig.

Dreistrahl-Laserinterferometer SP 5000 TR sind Präzisionslängenmessgeräte, die in einem Gerät drei Interferometer in sich vereinen. Alle drei Messkanäle werden von einer Lichtquelle mit gleicher, hochstabiler Laserfrequenz gespeist. Somit können simultan drei Längenwerte mit Nanometergenauigkeit erfasst werden. Aus der Differenz jeweils zweier Längenwerte und dem kalibrierten Strahlabstand lässt sich der entsprechende Winkel hochaufgelöst und hochgenau bestimmen.

Das Interferometer-System ist modular aufgebaut und kann dadurch an die unterschiedlichsten Messaufgaben angepasst werden.

Die Lichtwellenleiterkopplung des Sensorkopfes und die optional integrierte Strahlrichtungsdetektion unterstützen die einfache Handhabung und präzise Justage.

Das Design des Dreistrahl-Interferometers SP 5000 TR ist kompakt und robust. Dadurch ist es ideal für hochgenaue Messungen in Industrie und Forschung geeignet. Ausführungen als OEM-Gerät, auch für Einsätze im Vakuum, sind auf Anfrage möglich.

Für große Messbereiche oder Kalibrierungen großer Objekte wird der Einsatz drahtloser Funktemperatursensoren bzw. der LCS Präzisions-Klimamessstation empfohlen.

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Technische Daten

Messgenauigkeit und technische Parameter des Dreistrahl-Laserinterferometers

0 m bis ≥5 m

20 pm

0,15 µm/m

±12,5°
mit Reflektor
±430 µrad
mit Planspiegel

0,01 µrad

Downloads

zum SP 5000 TR Interferometer

Technisches
Datenblatt

Produktflyer

Maßskizze

CAD Daten
Sensor

CAD Daten
Sensor mit
Justiergelenk

Fachartikel 1

Fachartikel 2

Anwendungsgebiete

laserinterferometrische Messungen an Führungen, Mess-, Mikroskop- und Positioniertischen

hochpräzise Nick- und Gierwinkelkorrektur bei Zwei- oder Mehrkoordinatenmessungen

Kalibrierung von Messmaschinen und Werkzeugmaschinen

Unterschiedsmessungen (Dilatometrie, Werkstoffprüfung)

dynamische Winkelmessungen, Erfassung von Winkelschwingungen

Erweiterung des Messbereiches für die Winkelmessung auf Anfrage

Anwendungsbeispiel lesen

Ideal für

Qualitätssicherung

Kalibrierung

Entwicklung

Wissenschaft/Forschung

OEM-Anwendungen

Messprinzip und Funktionsweise des Interferometers

für hochgenaue Längen- und Winkelmessungen

Das Dreistrahl-Laserinterferometer erreicht eine herausragende Messgenauigkeit. Das Video veranschaulicht die simultane und genaue Längen-, Nick- und Gierwinkelmessung mit dem mehrstrahligen Interferometer.