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Dreistrahl-Laserinterferometer

SP 5000 TR

Dreistrahliges laserinterferometrisches Messsystem für simultane und genaue Längen-, Nick- und Gierwinkelmessungen

flexibles Längenmesssystem höchster Genauigkeit

einfache Handhabung und Justage durch integrierte Strahlrichtungsdetektion

verschiedene optische Reflektoren einsetzbar, z. B. Kugel-, Planspiegel-Reflektor

zulässige Verkippung des Messreflektors bis zu ± 12,5° 

kompaktes Design

Ausführung des Sensorkopfes wahlweise in Aluminium, Edelstahl oder Invar

Strahlabstände: 12 mm

OEM-Versionen, OEM-Software und Vakuum-Version sind möglich

Strahlumlenkung mit einem optional erhältlichen, justierbaren Umlenkspiegel

erweiterte Einsatzbereiche durch optionale Schnittstellen

umfangreiche Triggermöglichkeiten

Kalibriersoftware entsprechend den aktuell gültigen Normen

Viele Anwendungsgebiete in Industrie und Forschung verlangen hochpräzise simultane Weg- und Winkelmessungen. Die gleichzeitige Erfassung der Nick- und Gierwinkel sowie der Längenmessung, während der Bewegung des Schlittens, auf dem die Dreifachreflektoreinheit fixiert ist, macht es möglich, schnell und hochpräzise Bewegungsachse zu bewerten. Dabei ist eine schnelle und unkomplizierte Sensorjustage besonders wichtig.

Dreistrahl-Laserinterferometer SP 5000 TR sind Präzisionslängenmessgeräte, die in einem Gerät drei Interferometer in sich vereinen. Alle drei Messkanäle werden von einer Lichtquelle mit gleicher, hochstabiler Laserfrequenz gespeist. Somit können simultan drei Längenwerte mit Nanometergenauigkeit erfasst werden. Aus der Differenz jeweils zweier Längenwerte und dem kalibrierten Strahlabstand lässt sich der entsprechende Winkel hochaufgelöst und hochgenau bestimmen.

Das Interferometer-System ist modular aufgebaut und kann dadurch an die unterschiedlichsten Messaufgaben angepasst werden.

Die Lichtwellenleiterkopplung des Sensorkopfes und die optional integrierte Strahlrichtungsdetektion unterstützen die einfache Handhabung und präzise Justage.

Das Design des Dreistrahl-Interferometers SP 5000 TR ist kompakt und robust. Dadurch ist es ideal für hochgenaue Messungen in Industrie und Forschung geeignet. Ausführungen als OEM-Gerät, auch für Einsätze im Vakuum, sind auf Anfrage möglich.

Für große Messbereiche oder Kalibrierungen großer Objekte wird der Einsatz drahtloser Funktemperatursensoren bzw. der LCS Präzisions-Klimamessstation empfohlen.

Beratung anfragen

Technische Daten

bis zu 5 m
und mehr

20 pm

0,1 µm/m

±12,5°
mit Reflektor
±1,5'
mit Planspiegel

0,002 arcsec

Anwendungsgebiete

laserinterferometrische Messungen an Führungen, Mess-, Mikroskop- und Positioniertischen

hochpräzise Nick- und Gierwinkelkorrektur bei Zwei- oder Mehrkoordinatenmessungen

Kalibrierung von Messmaschinen und Werkzeugmaschinen

Unterschiedsmessungen (Dilatometrie, Werkstoffprüfung)

dynamische Winkelmessungen, Erfassung von Winkelschwingungen

Erweiterung des Messbereiches für die Winkelmessung auf Anfrage

Anwendungsbeispiel lesen

Ideal für

Qualitätssicherung

Kalibrierung

Entwicklung

Wissenschaft/Forschung

OEM-Anwendungen

Messprinzip des Dreistrahl-Interferometers

Sie möchten wissen,
ob das Dreistrahl Interferometer – SP 5000 TR die passende Lösung für Ihre Messaufgaben ist?

 
Unsere SIOS-Experten besuchen Sie gern vor Ort. So können wir gemeinsam eine schnelle Lösung für Ihre Anwendungen finden und erste Probemessungen in Ihrem Umfeld durchführen.

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Die passende Software

InfasNTC

Software zur Datenerfassung und Visualisierung

Universalsoftware für alle SIOS Interferometer

Basisfunktionen für die Messdatenerfassung

Synchronisations-Einstellungen

InfasVIBRO

Software zur Schwingungsmessung

FFT-Analyse

Datenfilterung

Spectrenmittelung

Scriptsteuerung

InfasAXIS

Kalibriersoftware nach VDI / ISO Norm

zur Kalibrierung von Linearachsen

Erfassung von Position-, Nick- und Gierwinkel und Geradheit

InfasALIGN

Schnelle Visualisierung aller Freiheitsgrade

Synchrone Erfassung aller Freiheitsgrade bei Mehrstahlinterferometern

zur Justage und Einstellung von Führungen geeignet

InfasMTCAL

Software zur Kalibrierung und volumetrischen Kompensation

Kalibrierung, Fehleranalyse und Verifikation

Anwendung bei Linearachsen, KMGs und Werkzeugmaschinen

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Peter Grundschok

Verkaufsleiter
Vertrieb weltweit

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p.grundschok@sios.de

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