Viele Anwendungsgebiete in Industrie und Forschung verlangen hochpräzise simultane Weg- und Winkelmessungen. Die gleichzeitige Erfassung der Nick- und Gierwinkel sowie der Längenmessung, während der Bewegung des Schlittens, auf dem die Dreifachreflektoreinheit fixiert ist, macht es möglich, schnell und hochpräzise Bewegungsachse zu bewerten. Dabei ist eine schnelle und unkomplizierte Sensorjustage besonders wichtig.

Dreistrahl-Laserinterferometer SP 5000 TR sind Präzisionslängenmessgeräte, die in einem Gerät drei Interferometer in sich vereinen. Alle drei Messkanäle werden von einer Lichtquelle mit gleicher, hochstabiler Laserfrequenz gespeist. Somit können simultan drei Längenwerte mit Nanometergenauigkeit erfasst werden. Aus der Differenz jeweils zweier Längenwerte und dem kalibrierten Strahlabstand lässt sich der entsprechende Winkel hochaufgelöst und hochgenau bestimmen.

Das Interferometer-System ist modular aufgebaut und kann dadurch an die unterschiedlichsten Messaufgaben angepasst werden.

Die Lichtwellenleiterkopplung des Sensorkopfes und die optional integrierte Strahlrichtungsdetektion unterstützen die einfache Handhabung und präzise Justage.

Das Design des Dreistrahl-Interferometers SP 5000 TR ist kompakt und robust. Dadurch ist es ideal für hochgenaue Messungen in Industrie und Forschung geeignet. Ausführungen als OEM-Gerät, auch für Einsätze im Vakuum, sind auf Anfrage möglich.

Für große Messbereiche oder Kalibrierungen großer Objekte wird der Einsatz drahtloser Funktemperatursensoren bzw. der LCS Präzisions-Klimamessstation empfohlen.

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