Die ultrastabilen SP-DI-Laserinterferometer können sowohl für Langzeitmessungen in Forschung und Entwicklung, z.B. bei Materialuntersuchungen, als auch in kompakter Bauweise (SP-DI/F) als Feedback-Sensoren für Positioniersysteme in industriellen Umgebungen eingesetzt werden. Sie zeichnen sich durch eine einzigartige thermische Stabilität von unter 10 nm/K aus.
Die Kalibrier-Laserinterferometer SP 15000 C5 wurden für die Ansprüche von Maschinen- und Geräteherstellern entwickelt. Länge, Winkel und Geradheit können gleichzeitig hochgenau gemessen werden. Durch die kompakte Geradheitsoption ist der Aufbau und die Justage der Messsysteme sehr einfach und schnell realisierbar, auch bei beengten Platzverhältnissen. Die Geradheit kann über die Länge von 6,5 Meter gemessen werden.