Nanopositionier- und Nanomessmaschine
NMM-1
Positionierung, Manipulation, Bearbeitung und Messung von Objekten und Strukturen mit Nanometergenauigkeit
weltweit präziseste Nanopositionier- und Nanomessmaschine
Mess- und Positionierbereich 25 × 25 × 5 mm
Auflösung 0,1 nm
3D-Positionier- und Messsystem höchster Genauigkeit
Antastsysteme, z. B. Laserfokussensoren, Rasterkraftmikroskope, Weißlichtsensoren, 3D-Mikrotaster
offene Gerätearchitektur ermöglicht eine Anwendung von kundenspezifischen Sensoren
Steuerung der NMM-1 erfolgt über eine PC-Software. Eine Anwender-API ist vorhanden.
Die Nanopositionier- und Nanomessmaschine zur dreidimensionalen Koordinatenmessung arbeitet in einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm mit einer Auflösung von 0,1 nm. Durch die spezielle Sensoranordnung wird eine, in allen drei Koordinatenachsen abbefehlerfreie Messung gewährleistet. Die Messachsen von drei Miniaturinterferometern schneiden sich virtuell im Berührungspunkt des Antastsensors mit dem Messobjekt.
Das Messobjekt liegt direkt auf einer beweglichen Spiegelecke. Die Position der Spiegelecke wird durch die drei fest angeordneten Miniaturinterferometer erfasst. Die Positionierung der Spiegelecke erfolgt über ein dreiachsiges Antriebssystem. Mit zwei Winkelsensoren werden die Winkelabweichungen bei der Positionierung gemessen und ausgeregelt.
Das Licht eines stabilisierten Lasers wird über Lichtwellenleiter von der Elektronikeinheit zu den Interferometerköpfen geleitet. Dies ermöglicht einen kompakten und temperaturstabilen Aufbau der Nanopositionier- und Nanomessmaschine.
Die Nanomessmaschine ist weltweit das einzige metrologische System, das sicher für Messungen von makroskopischen Objekten mit Sub-Nanometergenauigkeit unter normalen Bedingungen geeignet ist und wird von mehreren nationalen metrologischen Instituten eingesetzt.
Technische Daten
25 mm x 25 mm x 5 mm
<0,1 nm
Anwendungsgebiete
Positionierung, Manipulation, Bearbeitung und Messung von Objekten der Mikroelektronik, Mikromechanik, Optik, Mikrosystemtechnik mit Nanometergenauigkeit in großen Raumbereichen
kontinuierliche AFM Scans über große Bereiche sind möglich
Messung von Präzisionsteilen, z. B. Härteeindringkörper, Membranen und Mikrolinsen
Kalibrierung von Stufenhöhennormalen und Pitch-Standards
Abbefehlerfrei Positionierung
Metrologische Messanordnung, geeignet zur Kalibrierung und Qualifizierung von Sensoren in der Entwicklung
offene Gerätearchitektur, Einsatz von kundenspezifischen Antastsensoren ist möglich
Ideal für
Kalibrierung
Forschung / Entwicklung
Metrologisches Messprinzip der Nanomessmaschine NMM-1
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