Nano Vibration Analyzer

Der Nano Vibration Analyzer NA ist eine Kombination eines fasergekoppelten Vibrometers der Serie LSV 120 NG mit einem technischen Mikroskop. Das System eignet sich hervorragend zur Messung des dynamischen Verhaltens und der statischen Auslenkung von Mikrostrukturen, MEMS und Cantilevern. Je nach verwendetem Objektiv ist eine Größe des Messspots von unter 2 µm erreichbar.
Das Messobjekt ist in einem großen Bereich mit Hilfe eines X-Y-Tisches positionier- und scannbar und kann durch eine Kamera beobachtet werden. Das Mikroskop-Objektiv ist auswechselbar und definiert sowohl den sichtbaren Bereich als auch den Laserspotdurchmesser. Die erreichbare Wegauflösung des laserinterferometrischen Vibrometers liegt im Pikometerbereich, wobei Schwingungsfrequenzen bis 5 MHz analysiert werden können.
Zur Erfassung und Darstellung der Messdaten wird eine speziell entwickelte Software angeboten. Diese ermöglicht neben der Frequenzanalyse der Schwingung und der getriggerten Messwertaufnahme eine Ansteuerung des X-Y-Tisches und eines externen Frequenzgenerators. Umfangreichere Messabläufe können über Scripts automatisiert werden.

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