Vibrometersystem für Mikrostrukturen und MEMS
hochpräzise, berührungslose Schwingungsmessung an Mikroobjekten
einfache Justage und Handhabung
umfangreiche Triggermöglichkeiten
X-Y-Tisch 50 mm x 50 mm, andere Optionen auf Nachfrage
Mikroskopobjektiv 10x, 20x, 50x
Messfleckdurchmesser 2 µm - 10 µm, (Objektiv abhängig)
OEM-Verwendung der Vibrometereinheit ist möglich
offene Schnittstellen für OEM-Software unter Windows und Linux
FFT-Software zur Spektralanalyse
Der Nano Vibration Analyzer NA ist eine Kombination eines fasergekoppelten Vibrometers der Serie LSV 120 NG mit einem technischen Mikroskop. Das System eignet sich hervorragend zur Messung des dynamischen Verhaltens und der statischen Auslenkung von Mikrostrukturen, MEMS und Cantilevern. Je nach verwendetem Objektiv ist eine Größe des Messspots von unter 2 µm erreichbar.
Das Messobjekt ist in einem großen Bereich mit Hilfe eines X-Y-Tisches positionier- und scannbar und kann durch eine Kamera beobachtet werden. Das Mikroskop-Objektiv ist auswechselbar und definiert sowohl den sichtbaren Bereich als auch den Laserspotdurchmesser. Die erreichbare Wegauflösung des laserinterferometrischen Vibrometers liegt im Pikometerbereich, wobei Schwingungsfrequenzen bis 5 MHz analysiert werden können.
Zur Erfassung und Darstellung der Messdaten wird eine speziell entwickelte Software angeboten. Diese ermöglicht neben der Frequenzanalyse der Schwingung und der getriggerten Messwertaufnahme eine Ansteuerung des X-Y-Tisches und eines externen Frequenzgenerators. Umfangreichere Messabläufe können über Scripts automatisiert werden.
0–5 MHz
max. 3 m/s
5 pm
Schwingungs- und Wegmessung an Mikrobauteilen, MEMS
berührungslose Schwingungsmessung an Oberflächen beliebiger Rauheit
Ermittlung von Schwingungsspektren
Bestimmung von Schwingungsformen
Bestimmung von Eigenfrequenzen an Mikroobjekten und makroskopischen Bauteilen
Mehrkoordinatenmessungen mit Mehrfachsystemen
Qualitätssicherung
Entwicklung
Wissenschaft / Forschung
OEM-Anwendungen
Unsere SIOS-Experten besuchen Sie gern vor Ort. So können wir gemeinsam eine schnelle Lösung für Ihre Anwendungen finden und erste Probemessungen in Ihrem Umfeld durchführen.
Software zur Schwingungsmessung
FFT-Analyse
Datenfilterung
Spectrenmittelung
Scriptsteuerung
SIOS API
Softwarebibliothek für Kundensoftware
Unterstützung und Programmierbeispiele für alle gängigen Programmiersprachen
Wir unterbreiten Ihnen gern ein passendes Angebot.
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