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Nano Vibration Analyzer

NA

Vibrometersystem für Mikrostrukturen und MEMS 

hochpräzise, berührungslose Schwingungsmessung an Mikroobjekten

einfache Justage und Handhabung

umfangreiche Triggermöglichkeiten

X-Y-Tisch 50 mm x 50 mm, andere Optionen auf Nachfrage

Mikroskopobjektiv 10x, 20x, 50x

Messfleckdurchmesser  2 µm - 10 µm, (Objektiv abhängig)

OEM-Verwendung der Vibrometereinheit ist möglich

offene Schnittstellen für OEM-Software unter Windows und Linux

FFT-Software zur Spektralanalyse

Der Nano Vibration Analyzer NA ist eine Kombination eines fasergekoppelten Vibrometers der Serie LSV 120 NG mit einem technischen Mikroskop. Das System eignet sich hervorragend zur Messung des dynamischen Verhaltens und der statischen Auslenkung von Mikrostrukturen, MEMS und Cantilevern. Je nach verwendetem Objektiv ist eine Größe des Messspots von unter 2 µm erreichbar.
Das Messobjekt ist in einem großen Bereich mit Hilfe eines X-Y-Tisches positionier- und scannbar und kann durch eine Kamera beobachtet werden. Das Mikroskop-Objektiv ist auswechselbar und definiert sowohl den sichtbaren Bereich als auch den Laserspotdurchmesser. Die erreichbare Wegauflösung des laserinterferometrischen Vibrometers liegt im Pikometerbereich, wobei Schwingungsfrequenzen bis 5 MHz analysiert werden können.
Zur Erfassung und Darstellung der Messdaten wird eine speziell entwickelte Software angeboten. Diese ermöglicht neben der Frequenzanalyse der Schwingung und der getriggerten Messwertaufnahme eine Ansteuerung des X-Y-Tisches und eines externen Frequenzgenerators. Umfangreichere Messabläufe können über Scripts automatisiert werden.

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Technische Daten

05 MHz

max. 3 m/s

5 pm

Anwendungsgebiete

Schwingungs- und Wegmessung an Mikrobauteilen, MEMS

berührungslose Schwingungsmessung an Oberflächen beliebiger Rauheit

Ermittlung von Schwingungsspektren

Bestimmung von Schwingungsformen

Bestimmung von Eigenfrequenzen an Mikroobjekten und makroskopischen Bauteilen

Mehrkoordinatenmessungen mit Mehrfachsystemen

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Ideal für

Qualitätssicherung

Entwicklung

Wissenschaft / Forschung

OEM-Anwendungen

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Unsere SIOS-Experten besuchen Sie gern vor Ort. So können wir gemeinsam eine schnelle Lösung für Ihre Anwendungen finden und erste Probemessungen in Ihrem Umfeld durchführen.

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Die passende Software

InfasVIBRO

Software zur Schwingungsmessung

FFT-Analyse

Datenfilterung

Spectrenmittelung

Scriptsteuerung

API

SIOS API

Softwarebibliothek für Kundensoftware

Unterstützung und Programmierbeispiele für alle gängigen Programmiersprachen

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Peter Grundschok

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peter.grundschok@sios.de

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