Die Geschichte der SIOS Meßtechnik GmbH beginnt im November 1991 mit ihrer Ausgründung aus dem Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der Technischen Universität Ilmenau.
Gründer der Firma sind Prof. Dr. Gerd Jäger, Dr. Walter Schott – zugleich erster und langjähriger Geschäftsführer – Prof. Dr. Rainer Grünwald, Dr. Hans-Joachim Büchner und Dr. Detlef Heydenbluth, die ihr umfassendes Know-how als Grundlage für die Unternehmenstätigkeit eingebracht haben. Angetreten sind die Gründer mit dem Ziel, das Potential der Laserinterferometrie auf höchstem messtechnischem Niveau für praktische Anwendungen zu erschließen und so die Welt der Messtechnik noch genauer und präziser zu gestalten.
Inzwischen gehört die SIOS nicht nur zu den führenden Herstellern laserinterferometrischer Messsysteme, sondern ist einer der bedeutendsten europäischen Lieferanten von stabilisierten He-Ne-Lasern als messtechnische Lichtquelle mit hochstabiler Wellenlänge. Außerdem ist SIOS mit ihrer Nanopositionier- und Nanomessmaschine NMM Anbieter des weltweit genauesten Positioniersystems und damit alleiniger Marktführer.