Differenz-Laserinterferometer
SP 5000 DI/F
Genauigkeit
Ultrastabiles kompaktes Differenz-Laserinterferometer
Differenzlängen- oder Winkelmessung höchster Genauigkeit
Minimierung der Umwelteinflüsse durch Differenzmessung
thermisch ultrastabiler Sensoraufbau, Temperaturempfindlichkeit < 10 nm/K
verschiedene optische Reflektoren einsetzbar, z. B. Kugel-, Planspiegel-Reflektor
große Kippinvarianz des Messreflektors
kompaktes und robustes Design
Ausführung des Sensorkopfes standardmäßig in Edelstahl
Strahlabstand: 14 mm
OEM-Versionen, OEM-Software und Vakuum-Version sind möglich
mit optionalen Schnittstellen als Feedback-System einsetzbar
umfangreiche Triggermöglichkeiten
Das ultrastabile kompakte Differenz-Interferometer SP 5000 DI/F ist für Anwendungen konzipiert, bei denen hochstabile Längenmessungen über lange Zeiträume realisiert werden müssen. Das kompakte Sensordesign ermöglicht eine langzeitstabile Justage und Platzierung auch unter beengten Platzverhältnissen, so dass sich das Präzisions-Messsystem hervorragend als Lasermaßstab für geschlossene Regelkreise eignet. Die Anwendung setzt einen externen Referenzpunkt voraus, der in der Regel in der Mitte des Messbereiches platziert wird, um die optimale Messwertstabilität zu erreichen. Das Grundprinzip des Interferometers baut auf der SP 5000 DI Serie auf und erreicht damit ebenfalls Längenauflösungen im Sub-Nanometer-Bereich. Messungen über mehrere Meter sind problemlos möglich, wobei die Reflektoren der SP Serie verwendet werden können.
Technische Daten
0 m bis ≥ 5 m
5 pm
±430 µrad
mit Planspiegel
±15°
mit Reflektor
0,007 µrad
Anwendungsgebiete
Das Differenz-Laserinterferometer ist als OEM-Version zum Einbau als Encoder in Maschinenachsen verfügbar. Für Messungen im Vakuum ist das SP 5000 DI/F als vakuumoptimierte Ausführung erhältlich.
Einsatz als Feedbacksystem für geschlossene Regelkreise ist möglich
Der Standard-Strahlabstand beträgt 14 mm. Andere Strahlabstände bieten wir auf Anfrage an.
Ideal für
Langzeitmessungen
Entwicklung
Wissenschaft/Forschung
OEM-Anwendungen
höchste Stabilitätsanforderungen
Messprinzip des Differenz-Interferometers
Zubehör zum SP 5000 DI
Umweltkorrektur
Sensorbox SB-22
Temperaturtransducer TT-01 für Luft- oder Materialtemperatursensor
Luftfeuchtefühler
Sie möchten wissen,
ob das Differenz-Interferometer – SP 5000 DI/F die passende Lösung für Ihre Messaufgaben ist?
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Die passende Software
InfasNTC
Software zur Datenerfassung und Visualisierung
Universalsoftware für alle SIOS Interferometer
Basisfunktionen für die Messdatenerfassung
Synchronisations-Einstellungen
InfasVIBRO
Software zur Schwingungsmessung
FFT-Analyse
Datenfilterung
Spectrenmittelung
Scriptsteuerung
API
SIOS API
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Unterstützung und Programmierbeispiele für alle gängigen Programmiersprachen
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