Dieses Modell der NMM-1 haben wir speziell für die individuellen Anforderungen der Abteilung 5 „Fertigungsmesstechnik“ entwickelt und modifiziert. Die Nanomessmaschine wurde mit zusätzlichen Interferometern zur hochgenauen Winkelregelung versehen.
Die neueste Generation der Nanopositionier- und Nanomessmaschine wird in den F&E-Arbeiten zur dimensionellen Nanometrologie – zusammen mit dem seit über 15 Jahren betriebenen Vorgängermodell – eine wichtige Rolle spielen.
Die PTB-Kalibrierkunden werden ebenfalls von der neuen Nanomessmaschine profitieren. Neben der Kalibrierung von Stufenhöhen- und Gitternormalen mit einem AFM-Kopf ist mittelfristig vorgesehen, auch Tiefeneinstell-, geschliffene Rau- und ultrapräzisionsgedrehte superfeine Raunormale sowie neuartige flächenhafte Raunormale v. a. mit Tastschnitt-Messkopf auf dem neuen Präzisionsmessgerät zu kalibrieren.
Wir sind stolz darauf, dass die Experten der Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), als nationales Metrologie-Institut, auf die Kernkompetenzen der SIOS Meßtechnik bei ihrer Wahl der Messinstrumente setzen. Gleichzeitig möchten wir uns bei den Mitarbeitern der PTB für die gute Zusammenarbeit bedanken.
