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Differenz-Laserinterferometer

SP 5000 DI

Hochstabiles Differenz-Laserinterferometer mit zwei parallelen Messstrahlen

Differenzlängen- oder Winkelmessung höchster Genauigkeit

Minimierung der Umwelteinflüsse durch Differenzmessung

thermisch langzeitstabiler Sensor, Temperaturempfindlichkeit < 20 nm/K

verschiedene optische Reflektoren einsetzbar, z. B. Kugel-, Planspiegel-Reflektor

große Kippinvarianz des Messreflektors

Ausführung des Sensorkopfes standardmäßig in Edelstahl

Strahlabstand: 21 mm

umfangreiche Triggermöglichkeiten

offene Schnittstellen für OEM-Software unter Windows und Linux

Unser ultrastabiles Differenz-Laserinterferometer SP 5000 DI zeichnet sich durch eine einzigartige thermische Stabilität aus und wird daher bevorzugt für Langzeitmessungen in Forschung und Entwicklung, z. B. bei der Analyse von Materialeigenschaften eingesetzt.
Im Unterschied zum Standardinterferometer wird bei der differentiellen Variante der Referenzstrahl aus dem Sensorkopf herausgeführt und verläuft parallel zum Messstrahl. Dieses Konzept ermöglicht die Platzierung des Sensors im größeren Abstand zum eigentlichen Messort, ohne dass die Auflösung oder die Stabilität der Messung signifikant beeinflusst wird. Die Längenauflösung dieses Interferometers liegt im Sub-Nanometer-Bereich und ist durch das Differenzprinzip bei vergleichbaren Mess- bzw. Strahllängen auch unter normalen Laborbedingungen erreichbar.
Der Messbereich für die Längenmessung kann mehrere Meter betragen, wenn kippinvariante Reflektoren für die Messungen verwendet werden. Das interferometrische Messsystem ist modular aufgebaut und kann dadurch an die jeweilige Messaufgabe angepasst werden.
Die Justage ist einfach und insbesondere langzeitstabil realisierbar. Die Erweiterung zum interferometrischen Mehrachssystem auf der Basis des SP 5000 DI Interferometers ermöglicht simultane Mehrkoordinatenmessungen.

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Technische Daten

2 m
mit Planspiegel
5 m
mit Reflektor

0,1 µm/m

5 pm

±1,5 arcmin
mit Planspiegel
±12,5°
mit Reflektor

0,001 arcsec

Anwendungsgebiete

Das Differenz-Laserinterferometer ist als OEM-Version zum Einbau als Encoder in Maschinenachsen verfügbar. Für Messungen im Vakuum ist das SP 5000 DI als vakuumoptimierte Ausführung erhältlich.

Der Standard-Strahlabstand beträgt 21 mm. Andere Strahlabstände bieten wir auf Anfrage an.

Anwendungsbeispiel lesen

Ideal für

Langzeitmessungen

Entwicklung

Wissenschaft/Forschung

OEM-Anwendungen

höchste Stabilitätsanforderungen

Messprinzip des Differenz-Interferometers

Zubehör zum SP 5000 DI

Kugelreflektoreinheit

Strahlabstand 21 mm

Artikel-Nr. A038783

Umweltkorrektur

Sensorbox SB-22

Temperaturtransducer TT-01 für Luft- oder Materialtemperatursensor

Luftfeuchtefühler

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ob das Differenz Interferometer – SP 5000 DI die passende Lösung für Ihre Messaufgaben ist?

 
Unsere SIOS-Experten besuchen Sie gern vor Ort. So können wir gemeinsam eine schnelle Lösung für Ihre Anwendungen finden und erste Probemessungen in Ihrem Umfeld durchführen.

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Die passende Software

InfasNTC

Software zur Datenerfassung und Visualisierung

Universalsoftware für alle SIOS Interferometer

Basisfunktionen für die Messdatenerfassung

Synchronisations-Einstellungen

InfasVIBRO

Software zur Schwingungsmessung

FFT-Analyse

Datenfilterung

Spectrenmittelung

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